一种高品质因子的滤波器件

本发明涉及光子集成芯片技术领域，更具体地，涉及一种高品质因子的滤波器件。包括用于实现周期性滤波保证大品质因子的微环谐振器、用于过滤多余波长的马赫曾德尔干涉仪；所述马赫曾德尔干涉仪串联在所述微环谐振器的微环的一侧，且位于输入光耦合进微环传输经过的前半微环。本发明通过将微环谐振器和马赫曾德尔干涉仪结合，马赫曾德尔干涉仪可以过滤特定的波长，将微环谐振器透射的波长中不需要的部分滤去，提高微环谐振器的FSR。在微环中加入马赫曾德尔干涉仪还可以提高微环谐振器的品质因子，这也能进一步降低滤波器的线宽；本发明能够同时实现大品质因子和大的FSR。