一种半导体芯片生产用浸蚀装置

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一种半导体芯片生产用浸蚀装置
申请号:CN202510817516
申请日期:2025-06-18
公开号:CN120581480A
公开日期:2025-09-02
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种半导体芯片生产用浸蚀装置,涉及半导体加工技术领域,包括外壳,所述外壳的顶部转动安装有顶盖,所述外壳的内壁固定安装有方形盒,所述顶盖的底部转动安装有支撑架,所述支撑架远离顶盖的一端滑动安装在方形盒的顶部,所述支撑架的底部转动安装有转动块;滑槽,所述滑槽开设在方形盒的顶部,所述滑槽用于限制转动块的滑行轨迹;所述转动块的底部滑动安装有L形杆,由于转动杆受到固定竖杆的阻挡,使得转动杆无法向固定竖杆的方向转动,使得转动杆无法向固定竖杆的方向转动,使得在顶盖打开后会受到限位,不再需要手动进行支撑,方便工作人员操作。
技术关键词
浸蚀装置 半导体芯片 空心盒 方形盒 顶盖 限速装置 外壳 内外壁 摩擦块 圆周面 滑动块 漂浮板 储液盒 滑槽 传动板 加液装置 升降杆 滑动板 竖杆
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