一种基于计算机视觉对准的自动化微转印系统

本发明公开了一种基于计算机视觉对准的自动化微转印系统，包括PDMS薄膜印章、运动控制系统和视觉对准系统，运动控制系统包括控制模块、一个大行程的三轴运动滑台和两个高精度的三自由度电动滑台，在三轴运动滑台上安装一个U形支架，两个三自由度电动滑台分别安装在U形支架的两个悬臂上，PDMS薄膜印章的两端分别固定在两个三自由度电动滑台上；视觉对准系统用于拍摄待转印的微器件，将图像传输至控制模块，控制模块识别图像中微器件的位置并控制PDMS薄膜印章移动至待转印微器件的正上方进行转印。通过两个三自由度电动滑台灵活地调节膜的形态来改变转印器件与基底之间的接触角度，更便于操控器件与基底界面之间的粘附力，灵活地实现器件的拾取和打印。