一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法

本发明属于远程等离子体源技术领域，提供了一种远程等离子源腔体氧化膜稳定性提升方法，包括：将经过表面预处理的铝材进行高温水蒸气封孔处理；切削加工去除表面的水铝石层；对解离腔体进行混合气体钝化并循环预设次数，混合气体钝化包括预钝化、水合钝化和协同钝化。本发明首先对氧化层进行高温水蒸气封孔，然后对表面水铝石层进行切削，增加表面活性位点数量利于OH键吸附；之后进行预钝化、水合钝化和协同钝化并循环预设次数，保证OH键的稳定性，提升RPS腔体的使用寿命；利用随机森林算法确定混合气体比例，通过影响氧化膜层表面OH键覆盖密度，降低RPS功率运行窗口下限，满足FCVD工艺的沉积速率需求。