一种晶圆形貌和变形的测量方法、系统及装置

本发明公开了一种晶圆形貌和变形的测量方法、系统及装置，本发明通过不同的光路采用单台相机获取晶圆的双目图像，在双目图像的第一图像和第二图像中采用模板匹配原理，获取匹配的测量区域，采用特征点匹配算法进行测量区域特征点匹配，将匹配特征点的像素坐标转换为三维坐标，构建晶圆测量区域的参考模型，进而实现形貌和变形测量，解决了目前没有晶圆检测替代技术的缺陷。