摘要
本发明公开一种集成多种封装技术的超薄系统级芯片封装结构及方法。该封装结构及方法通过将Interposer技术、FC技术、FOWLP技术、SiP技术和TGV技术整合制备具有高性能、低功耗、小型化、异质工艺集成、低成本特点的高密度、多芯片集成的系统级封装电子产品。
技术关键词
重布线
超薄系统
植球工艺
载板
芯片封装结构
导电通孔结构
玻璃
凹槽结构
盲孔结构
间隙结构
芯片倒装技术
金属导电结构
SiP技术
芯片封装方法
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