摘要
本发明涉及一种轴向低压降高电压快恢OJ二极管制造方法,步骤为:材料准备,材料表面处理,封装处理,焊接,酸洗,上胶,固化,模压,老化,回流焊和二次老化。本发明使用经过研磨的晶圆和玻璃钝化切割后芯片,低温焊接,焊接气孔更小,正向压降和电压一致性更好了克服隧道炉焊接气孔过大的问题,通过本发明生产的3000V以上高压二极管产品,最小可以降低0.3V,最大可以降低0.7*nV(n是整流管芯片数)正向压降。在相同芯片尺寸下,本发明生产的产品开关时间可以更快,正向压降可以更小,本发明生产芯片的成本大大下降,扩金减少30%以上~50%。
技术关键词
低压
焊片
电压
金属化
硅片
整流管芯片
石墨舟
隧道炉
高压二极管
引线
真空焊接
缓冲
焊接炉
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