摘要
本发明公开了一种倒装银镜发光二极管芯片及其制备方法,涉及半导体技术领域倒装银镜发光二极管芯片包括衬底、外延层、电流扩展层、布拉格反射层、金属反射层、第一绝缘层、P型金属导电层和N型金属导电层;外延层包括N型半导体层、有源发光层和P型半导体层;布拉格反射层设有布拉格反射层P型通孔,第一绝缘层设有第一绝缘层P型通孔,第一绝缘层P型通孔的孔壁和水平面之间的夹角β小于布拉格反射层P型通孔的孔壁与水平面之间的夹角α;第一绝缘层P型通孔的投影边缘与布拉格反射层P型通孔的投影边缘之间的距离L为5μm~12μm。本发明通过对倒装银镜发光二极管芯片的结构进行改进,能够提升倒装银镜发光二极管芯片抗击大电流的能力。
技术关键词
布拉格反射层
发光二极管芯片
电流阻挡层
金属反射层
金属导电层
银镜
通孔
半导体层
电流扩展层
光刻胶
有源发光层
衬底
表面涂布
层叠
外延
氢氟酸
系统为您推荐了相关专利信息
高亮度LED芯片
ITO透明导电层
沟槽
P型GaN层
反射镜
倒装LED芯片
复合反射层
叠层结构
电极
电流阻挡层
高压发光二极管
发光单元
接触电极
电流阻挡层
半导体层
发光二极管芯片
多波长发光二极管
半导体层
像素单元
发光层