一种芯片基板键合固化装置

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一种芯片基板键合固化装置
申请号:CN202510875564
申请日期:2025-06-27
公开号:CN120690724A
公开日期:2025-09-23
类型:发明专利
摘要
本发明属于芯片生产技术领域,具体的说是一种芯片基板键合固化装置,包括作业板,作业板的顶部一侧固定安装有置芯箱,作业板的底部一侧固定安装有置板箱,作业板的顶部设置有覆胶组件;通过当覆胶组件对基板凹槽内涂覆胶液完成时,装合组件带动芯片进行下移,对芯片和基板进行键合安装作业,当芯片下移的同时,校合组件对芯片进行稳固作业,防止芯片在下移时发生位置偏移与基板的凹槽无法准确对位,从而完成对芯片和基板的键合作业,通过重复此流程,覆胶组件、校合组件和装合组件相互配合重复作业,从而可实现自动对多个芯片和多个基板之间进行快速键合作业,在批量生产时,可加快生产时键合的效率。
技术关键词
芯片基板 固化装置 挤胶头 涂胶箱 胶液 压板 导轨 涂覆 弹簧 滑块 齿条 凹槽 推杆 内槽 轴杆 齿轮 尺寸
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