摘要
本发明属于芯片生产技术领域,具体的说是一种芯片基板键合固化装置,包括作业板,作业板的顶部一侧固定安装有置芯箱,作业板的底部一侧固定安装有置板箱,作业板的顶部设置有覆胶组件;通过当覆胶组件对基板凹槽内涂覆胶液完成时,装合组件带动芯片进行下移,对芯片和基板进行键合安装作业,当芯片下移的同时,校合组件对芯片进行稳固作业,防止芯片在下移时发生位置偏移与基板的凹槽无法准确对位,从而完成对芯片和基板的键合作业,通过重复此流程,覆胶组件、校合组件和装合组件相互配合重复作业,从而可实现自动对多个芯片和多个基板之间进行快速键合作业,在批量生产时,可加快生产时键合的效率。
技术关键词
芯片基板
固化装置
挤胶头
涂胶箱
胶液
压板
导轨
涂覆
弹簧
滑块
齿条
凹槽
推杆
内槽
轴杆
齿轮
尺寸
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