一种CIS芯片的扇出封装结构及其制作方法

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一种CIS芯片的扇出封装结构及其制作方法
申请号:CN202510884273
申请日期:2025-06-30
公开号:CN120751797A
公开日期:2025-10-03
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种CIS芯片的扇出封装结构,其提升系统级封装的可靠性与集成度,且封装成本低。其包括:玻璃;围堰层,其包括有围堰腔;CIS芯片,其包括有硅层、感光器件;功能芯片;以及锡球;所述玻璃的上表面设置有围堰层,所述CIS芯片键合于所述围堰层的上表面、且所述CIS芯片的感光器件置于围堰腔域内,所述CIS芯片的硅层上表面蚀刻有凹槽,所述凹槽内放置功能芯片,所述CIS芯片的硅层还设置有连接直孔,所述连接直孔连接至CIS芯片的下层PAD,所述连接直孔、硅层上表面设置RDL,所述RDL将功能芯片、CIS芯片连接,所述硅层的上表面设置阻焊层、仅露出RDL的焊盘位置,所述锡球置于焊盘位置。
技术关键词
CIS芯片 封装结构 围堰 感光器件 露出焊盘 锡球 玻璃 正性光刻胶 凹槽 外露 提升系统 蚀刻 环氧树脂 管脚 涂布 空腔 内腔
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