改进浣熊算法优化模糊PID的集成电路源测量单元控制方法

本发明公开了一种改进浣熊算法优化模糊PID的集成电路源测量单元控制方法，包括：搭建SMU的输出电压控制系统；实时采集SMU系统的输出端电压数据；计算电压误差以及电压误差变化率；构建模糊推理规则库，基于模糊规则库根据电压偏差值以及电压误差变化率动态调整模糊控制器参数，进而动态调整PID参数；根据整定后的PID参数生成控制信号，调节SMU的输出电压；采用改进浣熊算法对步骤S4中获得的模糊PID电压控制器进行优化，决策变量选择为模糊控制器的参数，将优化过后的参数赋值给模糊PID电压控制器，实现对SMU输出电压的控制。本发明将改进后的浣熊优化算法与模糊PID控制器相结合并应用到集成电路源测量单元，以提升SMU系统的控制性能。