一种可识别晶圆翘曲的防碰撞取片方法及系统、存储介质

本发明提供了一种可识别晶圆翘曲的防碰撞取片方法及系统、存储介质，其中方法步骤包括：在对准器晶圆垂向面上设置轮廓采集器，在对准器旋转晶圆过程中，采集晶圆轮廓点数据，用以确定晶圆的圆心位置及其与晶圆旋转中心的偏心距离，以及轮廓采集器在晶圆面上投影位置与晶圆圆心及晶圆旋转中心的方向夹角；根据偏心距离、方向夹角及已知晶圆半径，确定晶圆无翘曲的理想情况下，晶圆旋转中心到晶圆轮廓的理论距离；根据理论距离与晶圆轮廓到晶圆旋转中心的现实距离，确定晶圆理想与现实姿态的高度差，以判断晶圆翘曲程度，并对应调整机器人取片高度。籍此以防止机械手取片时与晶圆发生干涉。