一种差分激光干涉仪测量坐标系比例缩放与正交性协同校准方法

本发明提供了一种差分激光干涉仪测量坐标系比例缩放与正交性协同校准方法。所述方法包括：基于激光干涉仪实测位移量(X_act,Y_act)与参考位置(X_ref,Y_ref)存在的测量坐标系线性比例缩放和非正交偏差的问题，同步求解比例缩放系数(sfx,sfy)和非正交系数(sxy)，构建复合误差补偿方程实现测量坐标系的校准。其技术特征主要体现在，基于双轴独立测量数据求解比例缩放参数；通过测量数据的空间耦合特性建立非正交误差模型；采用参数迭代优化算法实现校准参数的渐进收敛。本发明通过比例因子校准与非正交性补偿的协同机制，为纳米级运动平台提供了可靠的测量基准。