摘要
本申请公开了一种倒装焊接方法,属于倒装焊接技术领域,该工艺包括:对切割为多个芯片的晶圆上包含凸点的表面进行等离子清洗;对经过等离子清洗的晶圆上包含的凸点的表面喷洒助焊剂;对喷洒过助焊剂的晶圆进行烘烤;从经过烘烤的晶圆中逐个拾取芯片,将芯片倒装粘贴至基板上;以及将倒装粘贴有芯片的基板送入回流炉,以将芯片回流焊接在基板上。本申请通过优化倒装焊接方法的技术流程,大幅提高了倒装贴装作业的效率,并减少了助焊剂的使用,大幅降低了倒装芯片封装加工的成本,特别适用于不能通过芯片编带和SMT贴装工艺的产品。
技术关键词
焊接方法
助焊剂
雾化喷洒设备
等离子清洗设备
晶圆
倒装芯片封装
回流炉
基板
贴装作业
翻转臂
超声波
排风
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