摘要
本发明公开了一种芯片集成封装方法及结构,该方法包括以下步骤:在玻璃载片上构建中介层Ⅰ;在中介层Ⅰ上构建第一TMV结构;将若干个背面供电芯片和功能芯片贴装在中介层Ⅰ上;将背面供电芯片、功能芯片以及第一TMV结构进行塑封;构建中介层Ⅱ;在中介层Ⅱ上构建第二TMV结构;将若干个背面供电芯片和功能芯片贴装在中介层Ⅱ上;将背面供电芯片、功能芯片以及第二TMV结构进行塑封;构建中介层III;去除玻璃载片,制作C4金属凸块,切割成单颗封装体。本发明能实现多个背面供电芯片在中介层Ⅱ的正反面共用同一个电源供电网络,减小封装体积,能实现将多种不同的芯片集成在一起,大大提高集成率,解决了背面供电芯片正反面布线要求。
技术关键词
集成封装方法
中介层
芯片集成封装结构
机械抛光
刻蚀工艺
封装体
倒装方式
供电网络
玻璃
正面
模塑
接口
凸块
包裹
布线
电源
系统为您推荐了相关专利信息
温度自适应控制方法
温度自适应控制装置
静电吸盘
冷却管道
温度检测模块
保护胶层
湿法刻蚀工艺
金属粘附层
热熔胶颗粒
光敏胶