一种芯片集成封装方法及结构

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一种芯片集成封装方法及结构
申请号:CN202511030729
申请日期:2025-07-25
公开号:CN120878567A
公开日期:2025-10-31
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种芯片集成封装方法及结构,该方法包括以下步骤:在玻璃载片上构建中介层Ⅰ;在中介层Ⅰ上构建第一TMV结构;将若干个背面供电芯片和功能芯片贴装在中介层Ⅰ上;将背面供电芯片、功能芯片以及第一TMV结构进行塑封;构建中介层Ⅱ;在中介层Ⅱ上构建第二TMV结构;将若干个背面供电芯片和功能芯片贴装在中介层Ⅱ上;将背面供电芯片、功能芯片以及第二TMV结构进行塑封;构建中介层III;去除玻璃载片,制作C4金属凸块,切割成单颗封装体。本发明能实现多个背面供电芯片在中介层Ⅱ的正反面共用同一个电源供电网络,减小封装体积,能实现将多种不同的芯片集成在一起,大大提高集成率,解决了背面供电芯片正反面布线要求。
技术关键词
集成封装方法 中介层 芯片集成封装结构 机械抛光 刻蚀工艺 封装体 倒装方式 供电网络 玻璃 正面 模塑 接口 凸块 包裹 布线 电源
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