一种用于半导体制造中设备端缓存设备的故障检测系统

本发明公开了一种用于半导体制造中设备端缓存设备的故障检测系统，具体涉及故障检测领域，包括初始化模块、多维数据实时采集模块、故障特征提取模块以及多维故障特征融合定位模块；初始化模块：构建三维监测坐标系并采集设备空载时各传感器基准数据，为后续故障检测提供空间定位框架与数据比对基准；多维数据实时采集模块：在设备正常生产运行过程中，实时采集数据，获取故障检测的实时数据输入；多维故障特征融合定位模块：将多维度故障指数融合为特征向量，实现故障类型识别与三维空间精准定位；本发明基于压力波动与时序数据的缓存单元故障定位方法，并结合三维坐标系的故障特征融合算法，提高了故障定位的精度。