一种分子束外延真空蒸镀Fe1-xAlx合金的制备方法

本发明公开了一种分子束外延真空蒸镀Fe1‑xAlx合金的制备方法，通过石英晶体振荡与质谱联用技术，实现蒸镀过程中组分比例的实时监控。该方法通过原位监测动态反馈系统调节金属铁与铝的蒸发温度，同时引入衬底变温工艺抑制界面扩散并消除晶格缺陷，相较于传统MBE工艺，本发明通过蒸发源温度精确控制和元素成分监测实现原子级组分控制，解决了合金外延中的应力积累与组分偏离问题。所制备的Fe1‑xAlx单晶薄膜具有大面积平整特性，厚度可控且界面突变性保持良好，适用于磁电耦合器件、高频软磁元件及惯性约束聚变实验中的软X射线转换材料。