基于晶圆偏移的晶圆传输机器人的智能补偿方法及系统

本发明涉及误差补偿技术领域，尤其涉及一种基于晶圆偏移的晶圆传输机器人的智能补偿方法及系统，方法包括：布置点云采集系统，获取晶圆的三维点云数据；对三维点云数据进行特征提取，得到形貌特征参数；构建位姿预测模型，将形貌特征参数输入位姿预测模型，得到目标预测位姿；获取晶圆的目标标准位姿，将目标预测位姿和目标标准位姿进行对比，计算晶圆位姿偏差；根据晶圆位姿偏差，生成晶圆传输机器人的偏差补偿参数，动态调整所述圆传输机器人控制参数。本发明，通过自动化校准技术和先进的误差补偿算法，显著缩短了校准时间，提高了晶圆搬运过程的精度，同时，通过实时误差补偿确保了设备的长期稳定运作，减少了累积误差对生产过程的影响。