摘要
本发明涉及芯片封装技术领域,公开了一种高密度封装体层间导通互联方法及结构,包括:步骤S100:在载板两面依次层叠贴合支撑层和功能层;步骤S200:电镀增厚所述功能层,并在所述功能层上制作用于贴设封装芯片的第一线路;步骤S300:在所述功能层上贴设若干个封装芯片,所述封装芯片与所述第一线路电连接;步骤S400:在所述功能层上形成覆盖所述封装芯片的塑封层;步骤S500:在所述塑封层内形成与所述封装芯片电连接的焊盘连通结构,所述焊盘连通结构覆盖所述塑封层表面;步骤S600:将所述功能层从所述支撑层上剥离,使所述功能层和所述塑封层形成单个封装体。本发明实现整板多个封装芯片之间的导通互联。
技术关键词
封装芯片
互联方法
高密度
缓冲层
载体铜箔
焊盘
线路
封装体
半固化片
金属沉积
芯片封装技术
电镀
通孔
载板
蚀刻工序
蚀刻工艺
层叠
金属材料
回路