用于晶圆钝化工艺的支撑装置及具有其的转运设备

本实用新型提供了一种用于晶圆钝化工艺的支撑装置及具有其的转运设备，其中，用于晶圆钝化工艺的支撑装置包括：基座；第一支撑件，设置在基座上，第一支撑件上设置有第一导向部，第一导向部用于与晶圆或者挡板导向配合；第二支撑件，与第一支撑件间隔地设置在基座上，第二支撑件上设置有第二导向部，第二导向部与晶圆或者挡板导向配合；其中，第一支撑件和第二支撑件之间形成用于容纳晶圆或者挡板的容纳区域。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的晶圆或者挡板不易滑落至容纳区域内的问题。