摘要
本发明公开了一种低功耗低噪声高灵敏度的磁通门传感芯片,其磁芯为多段多孔磁芯;所述多段多孔磁芯为矩形板结构,至少由两段多孔磁芯沿矩形的短边并排组成;其中单段多孔磁芯为中间排布通孔的矩形板;相邻两段多孔磁芯之间沿两者长边方向设置长条状间隔通孔;螺线管结构的激励线圈与感应线圈均绝缘地套接于多段多孔磁芯的外表面;激励线圈、感应线圈保持预设的间距单独设置或者两者的单匝线圈保持预设的间距交替布置在多段多孔磁芯外侧。本发明磁通门传感器具有低功耗、低噪声及高灵敏度的优点。
技术关键词
低功耗低噪声
传感芯片
磁芯
感应线圈
光刻胶
绝缘
导线
光刻板
光刻工艺
导电层
螺线管结构
半成品
退火装置
矩形板结构
上沉积
长条状
通孔
磁通门传感器
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