摘要
现有的芯片封装工艺通常采用在载板上固晶、键合、塑封的工艺方案,产品主要构成有载板、芯片、塑封体,载板厚度一般大于0.1mm,最终封装成型的结构厚度较大,本发明公开了一种超薄单层电路封装工艺,采用了无载板的特殊工艺设计,在临时用的载板上进行预封装,完成后再通过金属剥离工艺将载板剔除,继续加工形成完整的无载板的芯片封装结构,降低了封装结构的厚度,满足市面上对芯片封装结构更轻、更薄的需求。
技术关键词
电路封装工艺
超薄单层
金属剥离工艺
芯片封装结构
印刷油墨工艺
抗氧化金属层
芯片封装工艺
载板
电镀工艺
光刻工艺
薄片
覆膜
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