可调节测试装置

本申请涉及一种可调节测试装置。可调节测试装置用于检测待检测样品，可调节测试装置包括：基座、传感组件以及调节机构，传感组件包括沿第一方向间隔设置的第一传感器及第二传感器，第一传感器及第二传感器配合，用于检测待检测样品的预设参数；调节机构沿第二方向可滑动连接基座，以调节传感组件与基座的相对位置；调节机构还用于调节第一传感器与第二传感器之间的距离，第一方向与第二方向相交。可调节测试装置中第一传感器与第二传感器之间的距离可调，使得可适应不同尺寸的晶圆并对晶圆进行感测。