气体传感器芯片

一种气体传感器芯片，包括测量单元和补偿单元；测量单元包括衬底、支撑层与第一热电偶元件；衬底连接支撑层，支撑层连接第一热电偶元件；补偿单元包括衬底、支撑层与第二热电偶元件；第二热电偶元件连接支撑层；补偿单元具有补偿空腔，补偿空腔与气体传感器芯片的外界连通；第一热电偶元件包括第一电偶层、第一绝缘层和第二电偶层；第一电偶层与支撑层连接，第二电偶层与第一绝缘层连接；沿气体传感器芯片的厚度方向，第一电偶层与第二电偶层分别位于第一绝缘层的两侧，得到的气体传感器芯片体积较小。