摘要
本申请涉及可见光通信技术领域,具体提供了一种可见光通信用LED外延结构及其制备方法,该外延结构包括:由下至上依次连接的衬底、缓冲层、u‑GaN层、n‑GaN层、多量子阱层、p型电子阻挡层和p‑GaN层;多量子阱层包括多层InGaN势垒层和若干层InGaN阱层,InGaN势垒层和InGaN阱层交替设置且InGaN势垒层的数量比InGaN阱层的数量多一;该外延结构能够同时实现提高微型LED芯片的带宽以及光输出功率。
技术关键词
LED外延结构
多量子阱层
GaN层
电子阻挡层
微型LED芯片
衬底
可见光通信技术
缓冲层
氮化铝
碳化硅
氢气
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