一种GaAs刻蚀工艺的检测工艺及检测系统

本发明属于刻蚀工艺监管技术领域，具体是一种GaAs刻蚀工艺的检测工艺及检测系统，其中，该检测系统包括智能控制平台、光源模块、高精度摄像模块、图像处理分析模块和显示模块；本发明通过光源模块照亮待检测的GaAs刻蚀产品的表面，高精度摄像模块捕获GaAs刻蚀产品的表面图像，图像处理分析模块通过特定的算法对图像进行精确处理和分析，显示模块对相应GaAs刻蚀产品的处理分析信息进行显示，能够满足GaAs刻蚀工艺检测的高精度和高效率要求，且能够对所有刻蚀设备和产生的所有刻蚀缺陷进行分析并准确划分，有利于管理人员合理作出相应改善措施，有效保证GaAs刻蚀的刻蚀效果，智能化和自动化水平高。