一种集成共面波导辅助固态纳米孔精确定位制备方法

本发明属于纳米加工技术领域，具体涉及一种集成共面波导辅助固态纳米孔精确定位制备方法，包括下列步骤：制备金纳米缩窄电极；沉积有金纳米缩窄电极的氮化硅芯片，在乙醇溶液中清洗去除有机物；对纳米孔进行定位；施加偏置电压VTM在金纳米缩窄电极上；通过Labview设计的软件根据所输入的目标孔径计算出所对应的阈值电流I0，并根据源表测量到的漏电流I；通过比较漏电流与阈值电流之间的大小，判断有无达到目标孔径。本发明通过往氮化硅膜上溅射金属纳米缩窄电极上施加一定的横向电压，降低了薄膜上纳米缩窄处的击穿电压，与此同时通过labview设计的程序进行纳米孔的可控制备。本发明的制备方法操作简单、自动化、成本低，且纳米孔位置可精确控制。