摘要
本发明公开了一种防护型耐高温半导体芯片,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极,漏极的上端设置有N+衬底,N+衬底的上端设置有N‑外延层,N‑外延层的上端设置有N-漂移区,N-漂移区的下端设置有屏蔽缓冲区,屏蔽缓冲区的内部设置有屏蔽缓冲层和氧化层,N‑外延层的两端分别设置有两个漂移层和N+有源区,栅氧层内设置有栅极内槽。该防护型耐高温半导体芯片,使得半导体芯片实现边传输边散热,提高半导体芯片的导通效率,增加半导体芯片的实用性,实现半导体芯片的快速响应和高效能的静电放电保护,降低静电放电对半导体芯片的损害风险,增加半导体芯片的可靠性和安全性能。
技术关键词
半导体芯片
防护型
导电屏蔽层
栅氧层
有源区
离子
半导体功率器件技术
外延
氧化层
保护区
接触区
金属氧化物材料
静电放电保护
衬底
电极
沟槽
多晶硅材料
缓冲
内槽
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