一种芯片堆叠结构及封装方法

AITNT
正文
推荐专利
一种芯片堆叠结构及封装方法
申请号:CN202410920030
申请日期:2024-07-10
公开号:CN118676088A
公开日期:2024-09-20
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体封装技术领域,具体地说是一种芯片堆叠结构及封装方法。堆叠结构包括底层芯片和堆叠芯片,多层堆叠芯片依次堆叠在底层芯片上,堆叠芯片的焊盘设有漏孔,漏孔下方开设有连通下层芯片焊盘的孔,孔内填充有用于上下焊盘互联的导电结构,多层堆叠芯片的导电结构互相连通,本发明还提供一种芯片堆叠结构的封装方法,同现有技术相比,通过对焊盘进行漏孔设计,解决了向上堆叠的芯片堆叠后TSV的接触孔需要转移的问题,实现了叠层芯片的焊盘与TSV孔的原位接触,提高了TSV孔的布局密度。
技术关键词
芯片堆叠结构 多层堆叠芯片 封装方法 导电结构 露出焊盘 Bosch工艺 晶圆 半导体封装技术 层沉积 叠层芯片 光刻掩膜 介质 凸点 种子层 接触孔
系统为您推荐了相关专利信息
1
基于多层金属结构降低芯片RDSON阻值的封装方法
多层金属结构 封装方法 氧化层 磁控溅射设备 真空机械手
2
一种用于封装功率模块的模具、封装方法及功率模块组件、功率器件
散热基板 功率模块组件 半导体芯片 模具 封装方法
3
封装结构、封装方法、芯片堆叠结构和电子设备
封装结构 净空 芯片堆叠结构 封装方法 元件
4
半导体封装结构以及半导体结构的封装方法
半导体封装结构 微通道结构 中介层 封装方法 键合结构
5
衬底互连封装方法和衬底互连封装结构
线路 包封 基底 封装方法 导电柱
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号