一种精细金属掩膜版抓取装置以及抓取方法

本发明涉及抓取装置技术领域，且公开了一种精细金属掩膜版抓取装置以及抓取方法。包括多轴机械臂，还包括抓取架，安装于多轴机械臂的前端并通过多轴机械臂多轴驱动，调距件a、吸料软管、真空管和第一视觉采集探头，均安装于抓取架上，两个对称设置的升降主架，两个升降主架与抓取架之间均安装有一组升降推杆，两个径向设置的抓取部件，抓取部件包括两个驱动块、两个升降副架和夹框。本装置在对精细金属掩膜版的去除部分吸取后，能够将吸取的去除部分在线去除，且本吸取装置在对精细金属掩膜版抓取时能够快速将精细金属掩膜版和隔膜纸同步抓取并同步转移，继而有效简化精细金属掩膜版抓取和转移流程并提高精细金属掩膜版的抓取和转移效率。