摘要
本申请公开了一种半导体器件及其制备方法,半导体器件的制备方法包括:在晶圆上形成图案化的金属焊盘;在所述金属焊盘的顶部及周向侧面形成具有疏水性的有机膜层;通过键合工艺连接所述金属焊盘与预设元件。根据本申请的半导体器件及其制备方法,可以有效避免金属焊盘表面产生结晶缺陷。
技术关键词
半导体器件
引线键合工艺
原子层沉积工艺
二甲基二氯硅烷
焊盘表面
水性
晶圆
芯片
元件
结晶
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