摘要
本申请提供了一种半导体器件及其封装方法,该半导体器件包括:导电层,包括目标导电部、接地部和支撑部,目标导电部包括第一导电部和第二导电部,第二导电部沿第一方向位于第一导电部远离接地部的一侧;第一芯片,第一芯片位于支撑部的第一表面上,第一芯片分别与第一导电部和接地部电连接,第一芯片为采用引线键合方式与导电层进行互连的芯片;第二芯片,第二芯片位于第一芯片背离导电层的一侧,第二芯片与第二导电部电连接,第二芯片为采用倒装焊技术与导电层进行互连的芯片。该半导体器件采用混合键合封装,在引线键合芯片上同时封装倒装焊芯片,可以减少芯片占用的空间,且两个芯片共用一个引脚,实现了两个芯片的信号连接。
技术关键词
半导体器件
导电层
封装方法
焊技术
阶梯型结构
引线键合芯片
倒装焊芯片
凸块
封装材料
填充胶
上沉积
凹槽
导线
包裹
信号