一种光电子器件表面缺陷视觉检测方法及系统

本发明涉及图像分割处理技术领域，具体涉及一种光电子器件表面缺陷视觉检测方法及系统。本发明首先获取光电子器件表面的灰度图像的初始缺陷区域；进一步获取第一缺陷可能性并筛选出疑似缺陷区域；进一步获取第二缺陷可能性并筛选出待分析缺陷区域；进一步获取待分析缺陷区域的每个边缘像素点的灰度变化参数；进一步逐步加入像素点形成修正缺陷区域并获取第三缺陷可能性，最后基于第三缺陷可能性对待分析缺陷区域进行扩展，获得最终缺陷区域。本发明通过分析阈值分割获得的初始缺陷区域的灰度变化特征以及边缘粗糙程度，排除非缺陷区域干扰，又通过对待分析缺陷区域进行自适应扩展，最终获得准确的缺陷区域，提高视觉检测结果的可信度。