摘要
本公开涉及一种芯片封装方法、芯片组件以及芯片封装装置,芯片封装方法包括:提供芯片组;每个所述芯片组至少包括两个芯片,相邻所述芯片相互连接;所述芯片组背面具有切割膜,所述芯片组由硅片切割得到;将所述芯片组转移贴合到第一载板上,获取具有重布线层和塑封层的所述芯片组;切割生成所述重布线层和所述塑封层的所述芯片组,得到多个封装结构,每个所述封装结构包括一个芯片。本公开通过对芯片组进行转移,能够减少芯片贴装次数,提高贴装速度,并且能够避免芯片组内部的各个芯片位置偏移,提高同组芯片的光刻精度,从而提高重布线层制作的精度和良率,进而提升芯片封装的良率。
技术关键词
芯片封装方法
芯片封装装置
芯片组件
重布线层
封装结构
光刻组件
切割膜
硅片
电路
接口
精度
速度