摘要
本发明涉及半导体芯片技术领域,具体公开了一种提高发光效率的芯片结构及其制备方法,该提高发光效率的芯片结构,包括基板,第一半导体层,有源层,第二半导体层,第一导电层,反射层,介质层,第一绝缘层,第二绝缘层,第二导电层,第三绝缘层,焊盘,贯穿所述第二半导体层及所述有源层,并延伸到所述第一半导体层内部的凹陷;所述介质层覆盖于所述反射层以及第一绝缘层表面,介质层一侧接触反射层和第一绝缘层,另一侧接触第二绝缘层,形成夹心结构;该提高发光效率的芯片结构,能够有效地阻挡了反射层中的Ag向相邻层中迁移,提高器件的稳定性,同时,介质层采用的材料吸光系数较小,折射率高,可以提高全反射效率,从而提高器件发光效率。
技术关键词
芯片结构
半导体层
导电层
夹心结构
半导体芯片技术
多层金属结构
介质
焊盘
多层结构
非晶碳膜
单层
基板
氧化钽
氧化钛
金刚石
缝隙
氧化铝
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