一种用于集成电路的半导体芯片测试装置

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一种用于集成电路的半导体芯片测试装置
申请号:CN202411077351
申请日期:2024-08-07
公开号:CN118731654A
公开日期:2024-10-01
类型:发明专利
摘要
本发明属于半导体芯片测试技术领域,尤其为一种用于集成电路的半导体芯片测试装置,包括底座以及通过支撑板水平安装在底座上方的顶板,所述底座、支撑板与顶板之间形成测试区,所述测试区内设置有上料位、提升位、夹持位和测试位;装置还包括测试器本体、水平移载机构、顶升机构和拉升及夹持装置。本发明能够将待测半导体芯片本体自上料位连续移载至测试位上,满足测试设备既定的测试行程需求,同时解决了现有的测试装置不能实现待测芯片的自动上、下料与夹持的问题,自动化程度高,运行稳定、可靠,避免在测试过程中人为造成的待测芯片损坏,保证了测试过程的稳定性和可靠性以及测试结果的准确性。
技术关键词
水平移载机构 半导体芯片 顶升机构 集成电路 梯形螺杆 梯形螺母 置放板 夹持装置 测试器 滑动架 顶板 带轮 顶升气缸 配重块 导向杆 待测芯片 活塞杆端部 底座
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