摘要
本发明属于半导体芯片测试技术领域,尤其为一种用于集成电路的半导体芯片测试装置,包括底座以及通过支撑板水平安装在底座上方的顶板,所述底座、支撑板与顶板之间形成测试区,所述测试区内设置有上料位、提升位、夹持位和测试位;装置还包括测试器本体、水平移载机构、顶升机构和拉升及夹持装置。本发明能够将待测半导体芯片本体自上料位连续移载至测试位上,满足测试设备既定的测试行程需求,同时解决了现有的测试装置不能实现待测芯片的自动上、下料与夹持的问题,自动化程度高,运行稳定、可靠,避免在测试过程中人为造成的待测芯片损坏,保证了测试过程的稳定性和可靠性以及测试结果的准确性。
技术关键词
水平移载机构
半导体芯片
顶升机构
集成电路
梯形螺杆
梯形螺母
置放板
夹持装置
测试器
滑动架
顶板
带轮
顶升气缸
配重块
导向杆
待测芯片
活塞杆端部
底座
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