摘要
本发明涉及先进封装领域,提供了电子式内窥镜模组及其制备方法和软性医用内窥镜。该电子式内窥镜模组,包括影像传感器、至少2个发光件以及依次堆叠连接的第一玻璃基板、第二玻璃基板和玻璃盖板;第一玻璃基板上设有多个金属柱;第二玻璃基板上开设有安装口,第二玻璃基板上围绕安装口设置有多个金属柱;影像传感器设置于所安装口内,影像传感器与金属柱电连接;至少2个发光件围绕影像传感器设置,每个发光件与对应的金属柱电连接;玻璃盖板靠近第二玻璃基板的一面开设有盲孔,每个发光件以及影像传感器均位于盲孔内。该电子式内窥镜模组能够通过晶圆级玻璃-玻璃之金属热压键合技术,形成高精度的对位要求。
技术关键词
电子式内窥镜
玻璃基板
影像传感器
发光件
玻璃盖板
模组
医用内窥镜
热压键合技术
盲孔
排布方式
金属材料
芯片
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