摘要
本申请属于功率器件技术领域,提供了一种改善开关损耗的超结IGBT器件及其制备方法、芯片,通过在发射极与P型漂移区之间,且栅极介质层的一侧设置、第一电荷存储区、P型阱区、第一P型重掺杂区,可以在器件开启时利用栅极电压耗尽P型阱区达到阻挡空穴的目的,并且在器件关断时使空穴流出,改善了超结IGBT器件的导通和关断损耗。
技术关键词
P型漂移区
电荷存储区
掺杂区
栅极多晶硅层
超结IGBT器件
栅极介质层
P型衬底
电荷存储层
阶梯结构
功率器件技术
单晶硅
缓冲层
外延
离子
哑铃状
芯片
关断
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