摘要
本发明属于半导体芯片封装技术领域,具体涉及一种陶瓷封装基板、半导体芯片及陶瓷封装基板的制作方法,包括陶瓷芯板和ABF/BT复合层;所述陶瓷芯板的陶瓷基板上设置有若干互联孔,互联孔贯穿陶瓷基板的上下表面;陶瓷基板表面设置电镀铜覆膜层;陶瓷芯板的上方和下方均设置有ABF/BT复合层,所述ABF/BT复合层包括若干层叠布置的ABF/BT层,每个ABF/BT层的外侧均设置有覆铜板层;最外侧的ABF/BT层的表面上设置有阻焊层,阻焊层的外侧设置有表面处理层。本方案的陶瓷封装基板的中心处具有陶瓷芯板,使其具有导热率高、硬度强,抗弯曲性能高,绝缘性好,介电损耗小,耐高温耐腐蚀等优点,经久耐用,能够延长封装基板的使用寿命,并提高出厂的合格率。
技术关键词
陶瓷封装基板
电镀铜
半导体芯片
倒装芯片
散热盖
复合层
覆铜板
芯板
焊盘
覆膜
陶瓷基板表面
种子层
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铜板表面
盲孔
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