一种基于液态金属互联的柔性加速度传感器阵列及其制备方法

本发明首次提出了一种基于液态金属互联的柔性加速度传感器阵列及其制备方法。传感器结构中，柔性封装层贴合在柔性衬底顶部，两者之间形成密闭腔体，所述密闭腔体内设有由所述液态金属互联导线和所述芯片元件构成的独立并联的加速度传感器阵列电路层，且所述加速度传感器阵列电路层被固定于所述密闭腔体内。本发明的柔性加速度传感器阵列结构适用于柔性可穿戴设备，其具有良好的延展性与柔韧性，生物相容性，阵列应用优势等特点，具备优秀的器件机械性能。同时其制备工艺灵活性高，工艺复杂度低，成本低廉，适用于大规模制备。