一种SCR器件、工艺方法及芯片

本发明提供了一种SCR器件、工艺方法及芯片，相比于传统的LVTSCR器件，本发明中的SCR器件的触发电压更低、维持电压更高，能够避免深回滞现象，拓展了SCR器件的应用场景，使得SCR器件能够应用于高工作电压端口。本发明中的SCR器件还能够形成多条ESD电流泄放路径，使得芯片的单位面积下ESD电流泄放能力更高，使得SCR器件具有低导通电阻特性，有效节约了芯片的面积，降低了芯片的生产成本；此外，多条ESD电流泄放路径使得ESD电流在SCR器件内的分布更加均匀，有效提高了SCR器件在大电流下的泄放路径鲁棒性。