摘要
本发明公开了一种基于梯度折射率透镜(GRIN lens)的机器人式显微成像系统和方法,白光光源集成在梯度折射率透镜周围,发出的光直接照亮被检测区域,反射光依次经过中继透镜组和反射镜后,会聚至CCD表面进行成像。机器人式显微成像测量装置具有尺寸小,分辨率高和移动测量等优点,该方案采用NA=0.5梯度折射率透镜和反射镜的组合对样品进行成像,在保证分辨率的同时,可以通过对控制机构的调整,实现对管路内壁360度的成像检测。
技术关键词
梯度折射率透镜
显微成像系统
机器人
成像模块
旋转臂
白光光源
控制器
运动模块
反射镜
显微成像方法
反射光
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