摘要
本公开提供一种封装结构及其制造方法,所述封装结构包括:介电基板,具有在第一方向上相对的第一侧和第二侧,且具有沟槽,沟槽从第一侧延伸至介电基板中,其中介电基板包括无机介电材料;芯片模块,包括第一芯片和第二芯片,且第二芯片设置于介电基板的沟槽中;基板通孔,嵌置于介电基板中,且在第一方向上贯穿介电基板;第一重布线结构,设置于介电基板的第一侧上,且与第二芯片和基板通孔电连接,其中第一芯片设置于第一重布线结构的远离介电基板的一侧,并通过第一重布线结构与第二芯片和基板通孔电连接,且第一芯片和第二芯片在第一方向上至少部分交叠;以及第一导电端子,设置于介电基板的远离第一重布线结构的一侧,且与基板通孔电连接。
技术关键词
布线结构
封装结构
导电端子
沟槽
介电材料
芯片贴附膜
芯片模块
通孔结构
金属化工艺
平坦化工艺
存储器芯片
导电焊盘
封装基板
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