封装结构及其制造方法

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封装结构及其制造方法
申请号:CN202411549302
申请日期:2024-10-31
公开号:CN119153417A
公开日期:2024-12-17
类型:发明专利
摘要
本公开提供一种封装结构及其制造方法,所述封装结构包括:介电基板,具有在第一方向上相对的第一侧和第二侧,且具有沟槽,沟槽从第一侧延伸至介电基板中,其中介电基板包括无机介电材料;芯片模块,包括第一芯片和第二芯片,且第二芯片设置于介电基板的沟槽中;基板通孔,嵌置于介电基板中,且在第一方向上贯穿介电基板;第一重布线结构,设置于介电基板的第一侧上,且与第二芯片和基板通孔电连接,其中第一芯片设置于第一重布线结构的远离介电基板的一侧,并通过第一重布线结构与第二芯片和基板通孔电连接,且第一芯片和第二芯片在第一方向上至少部分交叠;以及第一导电端子,设置于介电基板的远离第一重布线结构的一侧,且与基板通孔电连接。
技术关键词
布线结构 封装结构 导电端子 沟槽 介电材料 芯片贴附膜 芯片模块 通孔结构 金属化工艺 平坦化工艺 存储器芯片 导电焊盘 封装基板 导电结构 刻蚀工艺 玻璃基板
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