一种光学薄膜的沉积方法及沉积系统

本申请提供的光学薄膜的沉积方法及系统，确定蒸发源的起始位置；确定所述蒸发源的运动轨迹；获取所述蒸发源的运动轨迹与待沉积光学元件的表面薄膜厚度特征方程；根据所述表面薄膜厚度特征方程获取所述蒸发源与所述待沉积光学元件在不同相对位置的运动状态；根据所述运动状态进行虚拟镀膜；当所述虚拟镀膜结果与实际沉积结果的吻合时即可对所述待沉积光学元件进行光学薄膜沉积，上述沉积方法及系统对不同面形的待沉积光学元件具有很强的通用性，无论是中心有孔、中心无孔还是其他复杂光学元件，都可以通过该方法实现均匀沉积。