一种天车装置及其控制方法

本发明公开了一种天车装置及其控制方法，其装置包括天车主体、侧移装置和抓取装置，所述天车主体上设有至少一个缓存载台，所述侧移装置与所述天车主体连接，所述抓取装置与侧移装置连接，所述侧移装置带动抓取装置移动至缓存载台上方。本发明在天车主体上增加至少一个存放晶圆盒的缓存载台，通过侧移装置带动抓取移动将晶圆盒移动放置在缓存载台上，同时天车行进过程中腹腔中还可以通过抓取装置运载一盒晶圆，由此天车单趟可以同时搬运多盒晶圆，大大提升了天车的运载能力，提高了芯片制造工厂的产能。