一种多腔体蚀刻设备的生产排程方法及相关设备

本发明提供一种多腔体蚀刻设备的生产排程方法及相关设备，方法包括：获取蚀刻并行加工模式下的晶圆批次、可用机台信息以及每个机台对于每个工艺类型的晶圆批次可用的加工路径集合；获取工艺类型转移矩阵；根据可用机台信息，对计划周期内到达的晶圆批次生成蚀刻调度任务，蚀刻调度任务包括第一阶段的机台调度任务和第二阶段的机台内部的腔体调度任务；第一阶段创建机台调度的分配策略，第二阶段创建各晶圆批次在腔体中的子批次分片策略；当任务执行时间到达任一调整任务的触发时间后，创建腔体的非加工状态指令，并依次穿插执行所触发的调整任务。本发明使用两阶段的分配调度排产算法，同步实现了晶圆批次在机台和腔体层面的双重调度任务。