calibration测试结构的电容值确定方法、电容校准方法、MOMCAP电容建模方法

本实施例提供一种calibration测试结构的电容值确定方法、电容校准方法、MOMCAP电容建模方法。电容值确定方法包括：获取包含多组校准结构的测试对象，这些校准结构与同一MOMCAP标准测试结构相关联；从所述多组校准结构中，根据特定的参数组合，选择出具有代表性的若干组校准结构；对所选出的各组校准结构分别进行电容值测试，获取相应的实测电容值数据；基于这些实测电容值数据，分析并确定校准电容值与所选参数之间的函数关系；利用所述函数关系，推算出其他具有不同参数组合的校准结构的电容值。本申请实施例高效获取MOMCAP电容calibration数据，减少芯片占用面积，减轻测试压力，从而提高器件建模效率。