用于承载晶片或晶片组合件的末端执行器

提供一种用于承载放置在其上的晶片或晶片组合件的末端执行器。末端执行器与机械臂集成或经配置以附接到机械臂。末端执行器包括径向地位于基底部分的外侧的外围安装件，外围安装件至少包括例如布置在基底部分的相对侧上的第一安装区段和第二安装区段。基底部分具有大体上平坦水平上表面。外围安装件的每一安装区段具有相对于基底部分的上表面升高的大体上平坦水平上表面。末端执行器借此经配置以在基底部分上方的第一高度处固持桥接安装区段的上表面的晶片组合件。在基底部分与外围安装件每一安装区段处之间存在台阶区。每一台阶区包括相对于基底部分的上表面升高的支撑表面。末端执行器借此经配置以在基底部分上方的第二高度处固持桥接支撑表面的晶片。