摘要
本发明提供了一种划片道缺陷的检测方法、一种划片道缺陷的检测系统及一种计算机可读存储介质。所述划片道缺陷的检测方法包括以下步骤:获取待测样品上多个晶粒之间的多个划片道的第一图像;将各所述第一图像分别按照预设尺寸,分割成多个划片道片段的第二图像,并将各所述划片道的对应划片道片段的第二图像,拼接成多幅第三图像;以及解析各所述第三图像,以分别检测各所述划片道的各所述划片道片段上的缺陷。通过对大长宽比的划片道图像进行重构,本发明可以有效避免图像缩放对细小缺陷特征的破坏,从而提升对图像中划片道缺陷的检出率。
技术关键词
显微成像模块
缺陷类别
深度学习模型
图像拼接
缺陷检测装置
坐标
样本
运动台
计算机
可读存储介质
特征提取模块
图像缩放
数据
存储器
指令
训练集
处理器
半导体
系统为您推荐了相关专利信息
状态预测系统
组学特征
影像
基因表达数据
深度学习特征
特征提取模型
通道
图像
车辆控制器
深度学习模型
场景构建方法
数据
动态场景
风电设备
深度学习模型
垂直起降飞行器
可靠性测试方法
振动可靠性测试
灰度矩阵
多通道