划片道缺陷的检测方法、检测系统及存储介质

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划片道缺陷的检测方法、检测系统及存储介质
申请号:CN202411639706
申请日期:2024-11-18
公开号:CN119125184B
公开日期:2025-03-25
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种划片道缺陷的检测方法、一种划片道缺陷的检测系统及一种计算机可读存储介质。所述划片道缺陷的检测方法包括以下步骤:获取待测样品上多个晶粒之间的多个划片道的第一图像;将各所述第一图像分别按照预设尺寸,分割成多个划片道片段的第二图像,并将各所述划片道的对应划片道片段的第二图像,拼接成多幅第三图像;以及解析各所述第三图像,以分别检测各所述划片道的各所述划片道片段上的缺陷。通过对大长宽比的划片道图像进行重构,本发明可以有效避免图像缩放对细小缺陷特征的破坏,从而提升对图像中划片道缺陷的检出率。
技术关键词
显微成像模块 缺陷类别 深度学习模型 图像拼接 缺陷检测装置 坐标 样本 运动台 计算机 可读存储介质 特征提取模块 图像缩放 数据 存储器 指令 训练集 处理器 半导体
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