一种分子泵

本发明涉及真空获得设备技术领域，公开了一种分子泵，包括：泵本体，其内腔中安装有驱动件，驱动件的驱动端设置有主轴；转子，转动安装在泵本体内，转子一端与主轴配合连接，另一端设置有配合凹槽，配合凹槽内安装有配合螺栓，配合螺栓沿轴向贯穿转子后与主轴固定连接；辅助组件，安装在配合凹槽内，辅助组件与转子固定连接，辅助组件将配合凹槽完全填充。转子在旋转过程中，粉尘颗粒物打到辅助组件上，能够改变颗粒物的运动轨迹，并利用辅助组件对配合凹槽完全填充，能够避免颗粒物在配合凹槽内堆积，避免堆积的物料影响转子动平衡，提升转子运转稳定性。同时通过改变粒子运动轨迹，减小颗粒物向腔体内部反弹，避免腔体污染，提升芯片良率。